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DG-800-26高压风机在半导体设备中的作用

更新时间:2026-06-16  |  点击率:9

DG-800-26高压风机在半导体设备中的作用
根据该型号的性能特性和已知应用场景,DG-800-26(7.5KW,风压约29.5~39.5kPa,风量约570m³/h)在半导体设备中主要承担以下几类角色:
DG-900-18达纲高压鼓风机5.jpg
一、晶圆传输与定位——真空吸附平台
这是DG-800-26在半导体产线中主要的应用之一。
真空吸附平台配套:为晶圆(Wafer)搬运机械手、真空吸盘提供稳定负压,确保晶圆在传送过程中不滑落、不偏移。
该风机极限真空度可达 -50kPa至-70kPa,配合释压阀(RV-01/RV-02)可准确控制吸附力,满足半导体对定位精度的严苛要求。
二、清洗与干燥——高压气流辅助
工序    作用    关键特性
湿法清洗吹干    清洗液残留去除,加速晶圆表面干燥    无油设计(风叶免润滑、无油气污染),避免颗粒/有机污染
热风循环干燥    配合加热模块,加速烘烤干燥    风量稳定,支持长时间连续运行
清洗设备气流输送    驱动清洗液循环或吹扫    高压输出(~30kPa),克服管路阻力
该风机应用于 "清洗设备" 和 "印制电路板(PCB)的设备",而PCB清洗工艺与半导体前道工艺高度相似。
三、洁净室环境控制——集尘与除尘
集尘系统:连接集尘器,吸附半导体车间的粉尘、颗粒,维持洁净室等级(Class 1~Class 100)。
无污染设计是关键优势:风叶旋转时不接触任何零件、免润滑、无油气,不会向洁净室引入额外污染源,这在半导体制造中是硬性要求。
防护等级 IP55,适应洁净室对设备防护的要求。
四、气流输送与物料传送
利用高压气流实现 粉粒体/小物件的气动输送,如光刻胶瓶、晶圆盒(FOUP/Cassette)的气动传送。
支持 吹吸同时使用,灵活性高,可适配不同工位需求。
五、设备冷却
部分半导体设备(如刻蚀机、CVD设备)需要对关键部件进行风冷散热。DG-800-26的 铝合金精密压铸外壳 + 高效电机 设计,可提供稳定气流用于机械冷却。
为什么选DG-800-26而非普通风机?
半导体场景要求    DG-800-26对应能力
零油污染    风叶无接触、免润滑、无油气
低颗粒排放    精密压铸、油封分离马达与本体
低噪音(洁净室人员作业)    ≤74dB(A),一体式消音器
长时间稳定运行   几乎免维修,除风叶外无动件
安装灵活(洁净室空间受限)   支持任意方向安装,占地小
补充说明:该型号主要宣传应用为电镀、水处理、印刷、PCB等行业,未直接以"半导体"为标题展开。以上半导体场景的作用是基于其已确认的性能参数(无油、高压、真空、集尘、清洗)与半导体工艺需求的合理匹配。如需更精确的半导体设备适配方案,建议向达纲/梁瑾代理商确认是否有针对半导体行业的定制型号(如防爆版BT4/CT4)。